氦檢漏儀是一種以氦氣作為示蹤氣體，專門用于檢測有氣密性要求的產(chǎn)品密封性的質(zhì)譜分析儀器。主要是基于質(zhì)譜分析技術(shù)。它采集被檢件中的氣體并將其電離，利用不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點，通過磁偏轉(zhuǎn)分離原理檢出氦離子。通過測量氦離子流來確定漏孔的大小及位置。

　　氦檢漏儀的功能特點：

　　1、高靈敏度：能夠檢測到極小的泄漏率，例如可達(dá)到10^-12 mbar·L/s的水平，這對于確保高標(biāo)準(zhǔn)的密封性能至關(guān)重要。

　　2、專用性強：氦氣由于其原子尺寸小、化學(xué)性質(zhì)不活潑以及在大氣中含量極低的特性，成為理想的檢漏氣體。

　　3、快速響應(yīng)：能快速響應(yīng)泄漏變化，使得檢測過程效率高，節(jié)省時間。

　　4、多種檢測模式：根據(jù)不同的檢測需求，氦檢漏儀可能支持吸槍模式（用吸槍在疑似泄漏處吸入氣體進行檢測）和累積模式（在密閉空間內(nèi)積累氦氣后檢測）。

　　5、易于操作：通常設(shè)計有用戶友好的界面，便于操作者設(shè)定參數(shù)、啟動檢測程序及解讀結(jié)果。

　　6、自動化程度高：可以編程控制檢測過程，實現(xiàn)自動化檢測，減少人為操作誤差。

　　7、寬泛的應(yīng)用領(lǐng)域：廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、汽車制造、航空航天、化工管道及空調(diào)制冷等多個領(lǐng)域。

　　8、環(huán)境因素考慮：雖然使用氦氣作為檢漏介質(zhì)，但氦檢漏儀的設(shè)計也會考慮到環(huán)境保護和經(jīng)濟成本，盡量減少氦氣的使用量。

　　9、多功能集成：可能與其他檢測功能集成，如壓力衰減檢測等，提供一體化解決方案。

　　10、數(shù)據(jù)記錄與輸出：具備數(shù)據(jù)記錄功能，可將檢測結(jié)果保存和輸出，便于跟蹤記錄和質(zhì)量控制。